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國內唯一擁有ASML曝光機的光刻膠企業,科華微電子獲1.7億元投資

2019-07-04 02:14欄目:投資

集微網消息(文/春夏)近日,據沃衍資本官方消息,北京科華微電子材料有限公司(以下簡稱“科華微電子”)獲得1.7億元的投資,投資方為沃衍資本、江蘇盛世投資、紫荊資本、深圳市投控通產新材料創業投資企業、四川潤資、北京高盟新材料等投資機構。

天眼查顯示,此前,科華微電子也曾獲得北工投資、誠和創投、南大光電、同華投資的數輪融資。



(圖片來源:天眼查)

科華微電子成立于2004年8月,是集光刻膠研發、生產、檢測、銷售于一體的中外合資企業,也是國內唯一一家擁有高檔光刻膠自主研發及生產實力的國家級高新技術企業。

據科華微電子官網介紹,該公司擁有中高檔光刻膠生產基地:2005年,建成百噸級環化橡膠系紫外負性光刻膠和千噸級負性光刻膠配套試劑生產線;2009年5月,建成高檔G/I線正膠生產線(500 噸/年)和正膠配套試劑生產線(1000 噸/年);2012年12月,科華微電子建成248nm光刻膠生產線。

同時,科華微電子還是中芯國際、華潤上華、杭州士蘭微、吉林華微電子、三安光電、華燦光電、德豪光電等客戶的穩定合作伙伴。

此外,沃衍資本消息顯示,科華微電子還是目前國內唯一擁有荷蘭ASML曝光機的光刻膠公司,其最小分辨率可達0.11um。通過與客戶晶圓廠同樣的檢測設備配置,實現了上下游產品檢測的無縫對接。(校對/小如)

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